[29p-G19-1~17] 21.1 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[29p-G19-3] 極微電子線回折による結晶性評価 (2:30 PM ～ 2:45 PM)

^○大力浩二，高橋正弘，廣橋拓也，津吹将志，太田将志，山﨑舜平 (半エネ研)

キーワード：電子線回折、IGZO、アモルファス