2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

14.半導体B(探索的材料・物性・デバイス) » 14.1 探索的材料物性

[29p-G7-1~19] 14.1 探索的材料物性

2013年3月29日(金) 13:00 〜 18:00 G7 (B5号館 2F-2201)

[29p-G7-8] BaSi2/Si(111)へのAZO反射防止膜の形成と光学特性の評価 (2:45 PM ~ 3:00 PM)

島田直弥1,馬場正和1,米山貴裕1,中村航太郎1,小池信太朗1,都甲薫1,末益崇1,2 (筑波大1,JST-CREST2)

キーワード:AZO