[29p-PA9-1~23] 16.3 シリコン系太陽電池

[29p-PA9-16] Magnetron sputter法で作製したSi/SiO2薄膜の基礎特性 (4:00 PM ～ 6:00 PM)

^○竹内登志男，河原塚篤，藤田実樹，井上智矢，堀越佳治 (早大)

キーワード：magnetron sputter