[29p-PB1-1~20] 13.3 絶縁膜技術

[29p-PB1-2] 欠陥を有するSiN膜中への水分子・ﾊﾛｹﾞﾝ化水素分子の透過 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○奥友希，志賀俊彦，戸塚政裕，竹見政義 (三菱電機)

キーワード：シリコン窒化膜、耐湿性、ハロゲン化水素