2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

15.結晶工学 » 15.6 IV族系化合物

[29p-PB4-1~25] 15.6 IV族系化合物

2013年3月29日(金) 13:30 〜 15:30 PB4 (第二体育館)

[29p-PB4-23] 4H-SiCエピタキシャル層中のショックレー型積層欠陥の構造評価 (1:30 PM ~ 3:30 PM)

中村勇,清井明,田中貴規,山本茂久 (三菱電機)

キーワード:SiC、SF