[30a-B3-1~12] 5.3 光制御

[30a-B3-1] ｢講演奨励賞受賞記念講演｣（15分）
バックエンド互換プロセスを用いた高性能シリコンフォトニクスデバイス (9:00 AM ～ 9:15 AM)

^○武井亮平^1,2，鈴木政雄^1,2，面田恵美子^1,2，眞子祥子^1,2，亀井利浩^1,2，森雅彦^1,2，榊原陽一^1,2 (産総研¹，PECST²)

キーワード：バックエンドプロセス、シリコンフォトニクス、スポットサイズ変換器