2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

05.光エレクトロニクス » 5.3 光制御

[30a-B3-1~12] 5.3 光制御

2013年3月30日(土) 09:00 〜 12:00 B3 (K2号館 3F-1307)

[30a-B3-2] 光結合器応用に向けたRF-PECVDを用いたSiOx膜の検討 (9:15 AM ~ 9:30 AM)

高橋博之1,2,山岸雅司1,3,平山直紀1,3,斉藤茂1,3,埜口良二1,3,堀川剛1,3 (PECST1,PETRA2,産総研ナノデバイスセンター3)

キーワード:SiOx、SSC