[30a-D3-1~13] 6.6 プローブ顕微鏡

[30a-D3-2] イオン照射法による磁気力顕微鏡用合金含有カーボンナノファイバー探針の作製と評価 (9:15 AM ～ 9:30 AM)

^○松井宗一郎¹，久保田雅士²，座田孝児³，田中志保美⁴，種村眞幸⁵，北澤正志⁶，大田亮⁷ (名工大院工¹，名工大院工²，名工大院工³，名工大院工⁴，名工大院工⁵，オリンパス⁶，オリンパス⁷)

キーワード：カンチレバー、mems