[30a-F1-1~13] 6.4 薄膜新材料

[30a-F1-12] フレーム溶射装置を利用した酸化物厚膜の作製Ⅰ (12:00 PM ～ 12:15 AM)

^○外山歩¹，中村淳^1,2，大塩茂夫¹，戸田育民¹，村松寛之¹，齋藤秀俊¹ (長岡技科大¹，中部キレスト²)

キーワード：フレーム溶射装置、イットリア、冷却効果