2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

06.薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[30a-F1-1~13] 6.4 薄膜新材料

2013年3月30日(土) 09:00 〜 12:30 F1 (E3号館 1F-102)

[30a-F1-5] RFマグネトロンスパッタ法によるSi(100)基板上へのYbN薄膜の形成 (10:00 AM ~ 10:15 AM)

高橋雅之,大見俊一郎 (東工大)

キーワード:YbN