[30a-F1-1~13] 6.4 薄膜新材料

[30a-F1-6] パルスレーザー堆積法を用いたMn₄Nエピタキシャル薄膜の作製と評価 (10:15 AM ～ 10:30 AM)

Xi Shen¹，^○近松彰^1,2，廣瀬靖^1,2,3，福村知昭^1,2，長谷川哲也^1,2,3 (東大院理¹，JST-CREST²，KAST³)

キーワード：マンガン窒化物薄膜、パルスレーザー堆積法