[30a-G12-1~15] 17.1 成長技術

[30a-G12-7] グラフェンCVD用銅基板のHe/H₂プラズマ処理 (10:30 AM ～ 10:45 AM)

^○加藤隆一¹，津川和夫¹，山田貴壽^1,2，長谷川雅考^1,2 (TASCグラフェン事業部¹，産総研ナノチューブ²)

キーワード：グラフェン