[30a-G20-1~15] 14.2 超薄膜・量子ナノ構造

[30a-G20-11] △バイオテンプレート極限加工によるGeナノ構造の作製 (11:45 AM ～ 12:00 AM)

^○Mohd Erman Fauzi^1,4，五十嵐誠^1,4，胡衛国^1,4，田村洋典^1,4，和田章良¹，山下一郎³，寒川誠二^1,2,4 (東北大流体研¹，東北大WPI-AIMR²，奈良先端大³，JST-CREST⁴)

キーワード：ゲルマニウム、量子ドット、エッチング