[30a-G21-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[30a-G21-11] UHVスパッタエピタキシーによるAlN単結晶層の成長 (11:45 AM ～ 12:00 AM)

^○比留間翔太，笹原駿介，増田貴則，飯島成規，二階堂真也，羽鳥貴善，篠田宏之，六倉信喜 (東京電機大)

キーワード：AlN