[30a-G6-1~11] 13.4 配線技術

[30a-G6-10] △ハイブリッドウェハ接合のための水素ラジカル処理 (11:30 AM ～ 11:45 AM)

^○青木真由，朴澤一幸，花岡裕子，武田健一 (ASET)

キーワード：TSV、三次元実装、ウェハ接合