[30a-G6-1~11] 13.4 配線技術

[30a-G6-7] TSV用新規バリヤ材料としてのHfN_x膜の特性 (10:45 AM ～ 11:00 AM)

^○佐藤勝，武山真弓，野矢厚 (北見工大)

キーワード：バリヤ