[30a-G7-1~10] 14.1 探索的材料物性

[30a-G7-3] スパッタリング法によるMg₂Si膜の作製と評価 (9:30 AM ～ 9:45 AM)

^○小川正太¹，片桐淳生¹，松島正明¹，秋山賢輔^1,2，舟窪浩¹ (東工大¹，神奈川産技センター²)

キーワード：熱電材料、薄膜、スパッタリング法