2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.1 探索的材料物性

[30a-G7-1~10] 14.1 探索的材料物性

2013年3月30日(土) 09:00 〜 11:45 G7 (B5号館 2F-2201)

[30a-G7-4] △スパッタリング法によるアモルファスMg2Si系半導体の作製と評価 (9:45 AM ～ 10:00 AM)

○原昌太，加藤敬，松木伸行，藤原裕之 (岐阜大)

キーワード：半導体、Mg2Si、スパッタリング