[30p-G6-1~6] 13.4 配線技術

[30p-G6-6] Krスパッタを用いたPtSiの低抵抗化に関する検討 (2:45 PM ～ 3:00 PM)

^○吉村泰彦，呉小鵬，吉見聡浩，有馬潤，大見俊一郎 (東工大総理工)

キーワード：シリサイド、Kr