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シンポジウム(口頭講演)

分科企画シンポジウム » コンピュータによるプラズマシミュレーションの実際（いま，何をどこまで計算できるのか）

[18p-S1-1~9] コンピュータによるプラズマシミュレーションの実際（いま，何をどこまで計算できるのか）

2014年9月18日(木) 13:30 〜 17:30 S1 (S1)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
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13:30 〜 13:45

[18p-S1-1] プラズマシミュレーションの現状と課題（15分）

^○杤久保文嘉 (首都大院理工)

13:45 〜 14:15

[18p-S1-2] 放電基礎過程－電子衝突断面積と電子輸送係数―（30分）

^○佐藤孝紀 (室蘭工大)

14:15 〜 14:45

[18p-S1-3] 計算化学を用いたプロセスプラズマ中の反応解析（30分）

^○林俊雄，石川健治，関根誠，堀勝 (名大)

14:45 〜 15:15

[18p-S1-4] プラズマエッチングにおける表面形状進展（30分）

^○斧高一 (京大工)

15:15 〜 15:30

[18p-S1-5] 誘電体上への水吸着量の分子軌道法による解析と沿面放電現象への応用

^○大嶽敦，小林金也 (日立製作所)

休憩15:30～15:45 (15:30 〜 15:45)

15:45 〜 16:15

[18p-S1-6] 市販ソルバーを用いたプラズマシミュレーション（30分）

^○白藤立 (大阪市大工)

16:15 〜 16:45

[18p-S1-7] 半導体製造装置のプラズマシミュレーション技術（30分）

^○伝宝一樹 (東京エレクトロン山梨)

16:45 〜 17:15

[18p-S1-8] プラズマエッチングのモデリングと半導体加工制御への応用（30分）

^○久保井信行，深沢正永，辰巳哲也 (ソニー)

17:15 〜 17:30

[18p-S1-9] まとめ：プラズマシミュレーションの展望（15分）

^○杤久保文嘉 (首都大院理工)