[17a-A14-1~12] 7.3 リソグラフィ

[17a-A14-10] 微細管内面に形成したエッチング溝パターンの非破壊観察

^○木村のぞみ，堀内敏行 (東京電機大院工)

キーワード：内面露光,非破壊観察