[17a-A14-1~12] 7.3 リソグラフィ

△ [17a-A14-3] PMMAをベースとした分岐電子線レジストの露光特性

^○池田紳悟¹，岸村由紀子¹，浅田裕法¹，大久保勝也²，白石寛治²，國武雅司²，星野亮一³ (山口大¹，熊本大²，グルーオンラボ³)

キーワード：電子線レジスト,PMMA,分岐