[17a-A27-1~11] 14.3電子デバイス・プロセス技術，15.4III-V族窒化物結晶のコードシェアセッション

△ [17a-A27-4] 超高次非線形誘電率顕微鏡法を用いた実動作中SiC-DMOSFETの断面観察

^○茅根慎通，長康雄 (東北大)

キーワード：SiC,SNDM