[17a-A8-1~7] 6.2 カーボン系薄膜

[17a-A8-6] ダイヤモンドのプラズマＣＶＤ成長における固体挿入ドーピング

田村貴大¹，柳瀬隆²，長浜太郎³，^○島田敏宏³ (北大総化¹，北大FCC²，北大工³)

キーワード：diamond,doping