2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

08.プラズマエレクトロニクス » 8.1 プラズマ生成・制御

[17a-PB1-1~8] 8.1 プラズマ生成・制御

2014年9月17日(水) 09:30 〜 11:30 PB1 (第2体育館)

ポスター掲示時間9:30~11:30(PB1会場)

09:30 〜 11:30

[17a-PB1-3] VHF-DC重畳マグネトロンスパッタ装置の特性評価

福岡侑士1,福井崇史1,高田昇治2,笹井建典1,豊田浩孝1,3 (名大工1,名大技術部2,名大プラズマナノ工学研究センター3)

キーワード:マグネトロンスパッタリング