[17a-PB4-1~21] 16.3 シリコン系太陽電池

[17a-PB4-7] Ion Beam Assist法を用いたa-Si:H膜への過剰水素添加に関する研究

^○美山和樹¹，深純平¹，松川誠也¹，久保田弘¹，吉岡昌雄²，大津宗一郎² (熊大院自¹，熊大工²)

キーワード：a-Si:H,ion beam,水素化