[17p-A10-1~17] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [17p-A10-1] TiO_x薄膜の合成と物性

^○吉松公平¹，大島孝仁¹，大友明^1,2 (東工大院理工¹，元素戦略²)

キーワード：酸化物薄膜,パルスレーザー堆積法