[17p-A11-1~17] 6.4 薄膜新材料

[17p-A11-13] 上部電極膜のスパッタ成膜条件が有機EL素子の動作特性に及ぼす影響

^○星陽一¹，濱口大地¹，小林信一¹，内田孝幸¹，清水英彦² (東京工芸大工¹，新潟大²)

キーワード：有機EL,低ダメージスパッタ堆積,電極膜