2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

06.薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[17p-A11-1~17] 6.4 薄膜新材料

2014年9月17日(水) 13:15 〜 18:00 A11 (E215)

17:15 〜 17:30

[17p-A11-15] ウルツ鉱型(Al,Ti)N薄膜のNTCサーミスタ特性

藤田利晃,田中寛,長友憲昭 (三菱マテリアル)

キーワード:サーミスタ,窒化物