[17p-A11-1~17] 6.4 薄膜新材料

[17p-A11-2] H₂Oガスを用いた反応性スパッタ法によるIrO_xH_y薄膜の作製と評価

^○伊藤敏，阿部良夫，川村みどり，金敬鎬 (北見工大)

キーワード：エレクトロクロミズム,反応性スパッタ,イリジウム酸化物