[17p-A11-1~17] 6.4 薄膜新材料

[17p-A11-3] スパッタリング成膜によるランタンとチタンの複合酸化物光学薄膜の作製(3)

^○（M1）中野良太，室谷裕志 (東海大院工)

キーワード：薄膜,応力,スパッタリング