[17p-A11-1~17] 6.4 薄膜新材料

[17p-A11-5] フレームデポジション法により合成した酸化イットリウム膜の気孔率

^○白井友之¹，中村淳^1,2，大塩茂夫¹，戸田育民¹，小松啓志¹，齋藤秀俊¹ (長岡技科大¹，中部キレスト²)

キーワード：EDTA,フレームデポジション法,酸化イットリウム