2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

06.薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[17p-A11-1~17] 6.4 薄膜新材料

2014年9月17日(水) 13:15 〜 18:00 A11 (E215)

15:15 〜 15:30

[17p-A11-8] キャリアガス種の異なる大気開放型化学気相析出法で合成したSrO膜

○(P)小松啓志,大塩茂夫,戸田育民,齋藤秀俊 (長岡技科大)

キーワード:SrO,大気開放型化学気相析出法,キャリアガス種