2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

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シンポジウム(口頭講演)

シンポジウム » 界面ナノ電子化学: 半導体ウェットプロセスの最前線

[17p-A14-1~12] 界面ナノ電子化学: 半導体ウェットプロセスの最前線

2014年9月17日(水) 13:30 〜 17:30 A14 (E305)

14:45 〜 15:00

[17p-A14-4] PVA ブラシの粘弾性と摩擦特性

真田俊之1,原義高1,福永明2,檜山浩國2 (静大1,荏原製作所2)

キーワード:半導体洗浄