2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[17p-C5-1~18] 15.4 III-V族窒化物結晶

2014年9月17日(水) 13:15 〜 18:45 C5 (オープンホール)

17:15 〜 17:30

[17p-C5-13] 前駆体二段階生成HVPE法による窒化イットリア安定化ジルコニア(111)基板上への高速InN成長

小島千恵,富樫理恵,村上尚,熊谷義直,纐纈明伯 (東京農工大院工)

キーワード:InN,HVPE