[17p-C5-1~18] 15.4 III-V族窒化物結晶

[17p-C5-17] UHVスパッタエピタキシー法によるInN層の成長(Ⅱ)

^○（M2）多田暁由，小橋勇希，福井迪，神田赳志，篠田宏之，六倉信喜 (東京電機大工)

キーワード：InN,sputter