2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス » 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[17p-PA5-1~22] 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

2014年9月17日(水) 16:00 〜 18:00 PA5 (第1体育館)

ポスター掲示時間16:00~18:00(PA5会場)

16:00 〜 18:00

[17p-PA5-22] ZnO-SnO2薄膜を用いたTFTの低温形成(Ⅲ)

佐藤和郎,山田義春,村上修一,筧芳治,櫻井芳昭 (大阪府立産技研)

キーワード:TFT,酸化物,ZTO