[17p-S10-3~13] 8.プラズマエレクトロニクス 英語セッション

▲ [17p-S10-11] Diagnostics of AC power excited non-equilibrium atmospheric pressure plasma jet with vacuum ultraviolet spectroscopy

^○Keigo Takeda¹, Kenji Ishikawa¹, Tanaka Hiromasa¹, Kano Hiroyuki², Yasuhiro Higashijima³, Makoto Sekine¹, Masaru Hori¹ (Nagoya Univ.¹, NU Eco-Engineering², NU System³)

キーワード：Atmospheric pressure plasma,vacuum ultraviolet spectroscopy,radical