2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

印刷

一般セッション(口頭講演)

07．ビーム応用 » 7.5 ビーム・光励起表面反応

[18a-A13-1~3] 7.5 ビーム・光励起表面反応

2014年9月18日(木) 09:00 〜 09:45 A13 (E304)

09:30 〜 09:45

[18a-A13-3] ガスクラスターイオン照射によるDLC膜の表面化学修飾

○（M2）木村旭，林雅祐，豊田紀章，山田公 (兵庫県立大工)

キーワード：GCIB,cluster,DLC