[18a-A17-1~13] 15.6 IV族系化合物

[18a-A17-9] 光電極応用に向けたp型SiCエピタキシャル層の欠陥評価

^○加藤正史¹，中野由崇² (名工大¹，中部大²)

キーワード：SiC,光電極,欠陥