[18a-A20-1~11] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶

[18a-A20-6] MBE成長におけるAs原料シャッター遮蔽性能の評価

^○影山健生¹，渡邉克之²，角田雅弘¹，岩本敏^1,2，荒川泰彦^1,2 (東大ナノ量子機構¹，東大生研²)

キーワード：MBE,GaAsP,shutter