[18a-A22-1~12] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[18a-A22-11] SiN_xおよびSiO₂保護膜のAlGaN/GaN膜中への影響

^○宮脇彬¹，岡本真里¹，角嶋邦之²，片岡好則²，西山彰²，杉井信之²，若林整²，筒井一生²，名取研二¹，齋藤渉³，大橋弘通¹，岩井洋¹ (東工大フロンティア研¹，東工大総理工²，東芝セミコンダクター&ストレージ社³)

キーワード：AlGaN/GaN,保護膜