[18a-A22-1~12] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[18a-A22-12] 高圧水蒸気処理によるALD-Al₂O₃/GaN構造の改質機構の考察

^○吉嗣晃治，堀田昌宏，浦川哲，石河泰明，浦岡行治 (奈良先端大)

キーワード：高圧水蒸気処理,Al2O3/GaN,異種接合界面制御