[18a-A9-1~9] 6.1強誘電体薄膜，9.1誘電材料・誘電体のコードシェアセッション

[18a-A9-3] Si基板上(001)配向(Na,Bi)TiO3-BaTiO₃膜の結晶構造と圧電特性

^○岡本庄司¹，橋本和弥¹，田中良明¹，張替貴聖¹，足立秀明²，藤井映志² (パナソニックAIS社¹，パナソニック先端研²)

キーワード：NBT-BT,強誘電体,非鉛