PDF ダウンロード スケジュール 9 いいね! 0 11:15 〜 11:30 △ [18a-A9-8] PbTiO3エピタキシャル薄膜を用いた二次モード分極反転共振子 ○片田克吉1,柳谷隆彦1,鈴木雅視1,和佐清孝2 (名工大1,横浜市大2) キーワード:圧電薄膜共振子,分極反転,スパッタ