2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

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コードシェアセッション » 6.1強誘電体薄膜,9.1誘電材料・誘電体のコードシェアセッション

[18a-A9-1~9] 6.1強誘電体薄膜,9.1誘電材料・誘電体のコードシェアセッション

2014年9月18日(木) 09:00 〜 11:45 A9 (E208)

11:15 〜 11:30

[18a-A9-8] PbTiO3エピタキシャル薄膜を用いた二次モード分極反転共振子

片田克吉1,柳谷隆彦1,鈴木雅視1,和佐清孝2 (名工大1,横浜市大2)

キーワード:圧電薄膜共振子,分極反転,スパッタ