[18a-C5-1~15] 15.4 III-V族窒化物結晶

[18a-C5-6] MOVPE選択成長によるGaNナノコラムのマスクパターン依存性

^○水野尚之¹，加藤嵩裕¹，上山智¹，竹内哲也¹，岩谷素顕¹，赤崎勇^1,2 (名城大理工¹，名大・赤崎記念研究センター²)

キーワード：ナノコラム