[18a-C6-1~10] 3.13 半導体光デバイス

[18a-C6-6] 高キャリア密度ITO層を用いたシリコンリブ導波路変調器の解析

^○綾田雅文，種村拓夫，中野義昭 (東大院工)

キーワード：光変調器