2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

17.ナノカーボン » 17. ナノカーボン(ポスター)

[18a-PA3-1~56] 17. ナノカーボン

2014年9月18日(木) 09:30 〜 11:30 PA3 (第1体育館)

ポスター掲示時間9:30~11:30(PA3会場)

09:30 〜 11:30

[18a-PA3-5] プラズマ処理によるイオン注入4H-SiC上のp-typeグラフェン層の形成

○(M1)椎名裕亮1,青柳大輝1,西村智朗2,中村徹1 (法政大理工1,法政大イオンビーム2)

キーワード:グラフェン,SiC