[18a-S9-1~8] 3.7 レーザープロセシング

[18a-S9-5] フェムト秒パルスレーザーにより作製したYF₃薄膜による真空紫外センサの開発

^○柳原雅大¹，石川紘¹，小野晋吾¹，大竹秀幸² (名工大¹，アイシン精機²)

キーワード：紫外センサ,フッ化物,フェムト秒パルスレーザー