2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

シンポジウム(口頭講演)

分科企画シンポジウム » 固液界面を使った新しい酸化物エレクトロニクス:化学とデバイスの融合

[18p-A10-1~10] 固液界面を使った新しい酸化物エレクトロニクス:化学とデバイスの融合

2014年9月18日(木) 13:15 〜 18:15 A10 (E214)

14:30 〜 15:00

[18p-A10-3] ナノデバイス構築のための局所陽極酸化セルフアラインメント技術(30分)

木村康男1,平野愛弓2,庭野道夫3 (東京工科大1,東北大院医工学2,東北大通研3)

キーワード:anodization,nanodevice,gas sensor